搬運(yùn)機(jī)器人的特性
● 高強(qiáng)度,高精度,高信賴性
● Z Axis: 450mm
● ￠ Axis: -5°～335°
● RR Axis: 1032mm
● RL Axis: 1032mm
● 負(fù)載 : MAX.10/each(including Hand)
● 反復(fù)精度: 0.1mm
● 應(yīng)用:Glass size:2-4Gen(730*920)
wafer/DUT size:8wafer-1Gen(270*360)
半導(dǎo)體,LCD等.
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