Alicat的23系列質(zhì)量流量控制器是根據(jù)真空涂層和噴濺過(guò)程中所要求快速關(guān)閉功能而設(shè)計(jì)的。一個(gè)啟動(dòng)截止閥是常閉的，并且保證一個(gè)大氣壓下氦氣最大泄露為1 x 10-9下有效的關(guān)閉。

23系列質(zhì)量流量控制器采用的是與其他alicat產(chǎn)品一樣的層流差壓式專利技術(shù)。在速度和精度需要計(jì)算時(shí)，23系列所體現(xiàn)的完美的精度和響應(yīng)時(shí)間。

Alicat 的23系列可以在響應(yīng)時(shí)間為50-100ms的條件下控制從0.5sccm的小流量到20slpm的大流量-響應(yīng)時(shí)間可以大大的改良你的最終產(chǎn)品，并且?guī)椭�排除誤差。

每個(gè)23系列都是預(yù)先設(shè)定的30種校準(zhǔn)氣體和顯示質(zhì)量流量、體積流量、絕壓和溫度。Alicat的23系列也可以直接通過(guò)設(shè)備的按鍵或者RS-232來(lái)編程設(shè)定，使用RS-232可以通過(guò)一對(duì)線串聯(lián)最多26臺(tái)設(shè)備。

23系列供電電壓為12-30Vdc，單一輸入和輸出暴漏0-5Vdc。0-10Vdc、4-20mA和RS-232（可選PROFIBUS）

特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)

• 響應(yīng)時(shí)間50-100ms

• 量程 0.5sccm-20slpm

• 模擬和數(shù)字通信（可選PROFIBUS）

• 30種預(yù)設(shè)定校準(zhǔn)氣體

• 精度±0.8% 的讀數(shù)±0.2% 滿刻度

• 可選高精度±0.4% 的讀數(shù)±0.2% 滿刻度

• 操作量程1%-100%

• 數(shù)字顯示質(zhì)量流量、體積流量、絕壓和溫度

• 無(wú)預(yù)熱時(shí)間

• 小巧設(shè)計(jì)，方便替換其他設(shè)備

• 保證標(biāo)準(zhǔn)大氣壓下氦氣最大泄露1 x 10-9的氣動(dòng)截止閥

• 終身維修