設(shè)備名稱：石墨舟裝片房

設(shè)備型號：FKSZPF01

設(shè)備概述：本設(shè)備是用于太陽能行業(yè)與PECVD承載車配套,裝取硅片,配制中效及高效過濾器,確保吹出的空氣達(dá)到凈化要求.

設(shè)備特點(diǎn):

能保證與PECVD石墨舟承載車準(zhǔn)確定位；

采用不銹鋼制造，整機(jī)結(jié)構(gòu)堅(jiān)固可靠；

采用GK系列高效空氣過濾器3只；

PECVD承載車在里面可傾斜15度或旋轉(zhuǎn)180度;

凈化風(fēng)機(jī)噪音小于50dB